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手动模塑系统

2021-03-06 17:17:42
手动模塑系统
详细介绍:

ORCAS 手动模塑系统

特色

  • ●载重: 60T

  • ●喷淋装置: 液体和颗粒。 提供多种液体喷淋模式选择

  • ●基材类型: 嵌条(尺寸SQ 340mm)和 晶圆 (F8”和F12”)

  • ●闭环共面度(TTV):< 20 µm

  • ●面板或晶圆顺序双边模塑

  • ●高效真空:~ 2 Torr

尺寸

宽深高

1744 x 1400 x 2204 mm³

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