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ASMPT固晶及复晶机

2023-12-07 16:44:15
ASMPT固晶及复晶机
详细介绍:

AFC Plus ASM固晶机及复晶机

特色

  • ●固晶及复晶机精度 ±1µm @ 3S

  • ●固晶週期 < 15 秒

  • ●芯片和微光学器件(WDM,光电子器件,微透镜,微机械)

  • ●自动载入基板晶圆

  • ●点胶/喷胶固晶

  • ●通过激光或加热板进行共晶固晶

  • ●被动式对准

  • ●选项

  • ●复晶固晶

  • ●晶圆定位

  • ●固晶后检查及量度

  • ●UV 固化

尺寸

宽深高

1690 x 1430 x 2040mm

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