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ASMPT太平洋面板焊接解决方案- AD420XL
- 高速
102ms固晶周期*@6mm间距
-高精度
±μm@∂*±1°@3∂*
-高灵活度
同时适用于背光应用及小间距RGB LED直显显示屏
大基板处理能力,500mmx600mm*
-高密度
密至20μm芯片间隙*
小间距小至P0.4RGB LED直显显示屏
规格
系统能力 | 晶圆系统 | ||
周期 | 102ms*@pitch1.5mm | 晶圆拾取区域 | ∅120mm |
112ms*@pitch6mm | 晶圆环尺寸 | ∅152mm | |
XY定位 | ±15μm@3∂* | 晶圆旋转 | ±180° |
芯片旋转 | ±1°@3∂* | 自动晶圆载具容量 | 12 |
物料处理 | 设施要求 | ||
芯片尺寸 | 75μmx125μm-1016μmx1016μm | 电压 | 100-240VAC |
(3 milx5 mil -40 mil x40mil) | 耗电量 | 1,050W | |
选项 | 最小50μmx100μm(2 milx、4mil) | 频率 | 50/60Hz |
基板尺寸 | 500x300mm | 压缩空气 | 4-6bar |
选项 | 600x500mm | 耗气量 | 270LPM@4bar |
ln-Line Linker(可选)* | 真空泵 | 可选 | |
移动质量 | 2kg | 尺寸和重量 | |
界面标准 | SMEMA | 宽x深x高 | 1780x1170x1920mm |
净重 | 940kg |
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