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半导体IGBT使用“银烧结工艺(LTJT)”的详解

2024-07-09 15:42:55

  随着现代电力电子技术的飞速发展,功率半导体器件作为其核心组成部分,在电力转换与能源管理领域扮演着越来越重要的角色。其中,绝缘栅双极晶体管(IGBT)以其高功率密度、低导通损耗和快速开关速度等显著优点,在众多功率半导体器件中脱颖而出,成为当今电力电子领域的研究与应用热点。

  然而,由于IGBT功率等级的提升和封装尺寸的缩小,传统的焊接技术已经难以满足IGBT模块日益严苛的可靠性要求,银烧结工艺以其独特的优势正逐渐成为IGBT封装领域的新宠。银烧结工艺和引线键合工艺成为了当前研究的热点。本文将跟大家分享这两种工艺它们在IGBT制造中的应用及优化方向。

半导体IGBT

  一、银烧结工艺的基本原理

  银烧结工艺是一种利用银粉或银膏作为中间层材料,在适当的温度、压力和时间条件下,通过固态扩散或液态烧结的方式实现芯片与基板之间冶金结合的新型连接技术。与传统的焊接工艺相比,银烧结技术具有更高的熔点、更低的热阻、更好的导热性能和优异的抗疲劳性能。其基本原理包括以下几个步骤:

  1、银粉或银膏的制备:选用高纯度的银粉,通过添加适量的有机载体和分散剂,制备成具有一定流动性和黏度的银膏。

  2、芯片与基板的预处理:对芯片和基板的连接表面进行清洁、除油和粗化处理,以提高银膏与连接表面的润湿性和结合强度。

  3、银膏的涂覆与定位:将制备好的银膏均匀涂覆在芯片或基板的连接表面上,并通过定位确保芯片与基板的准确对位。

  4、烧结过程:将涂覆好银膏的芯片与基板组装在一起,置于烧结炉中,在一定的温度和压力下进行烧结。烧结过程中,银膏中的有机载体和分散剂在高温下分解挥发,银粉颗粒之间发生固态扩散或液态烧结,形成致密的银层,实现芯片与基板的冶金结合。

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  二、银烧结工艺在IGBT上的应用

  银烧结工艺是一种通过银质焊料在高温下实现的芯片与基板间的连接方式。相较于传统的软钎焊技术,银烧结具有更高的熔点、更低的电阻率和更好的热稳定性,因此被广泛应用于高功率、高温工作环境的IGBT模块制造中。

  银烧结工艺的关键在于焊料的选择、烧结温度的控制以及烧结时间的把握。焊料成分的比例直接影响到烧结后的机械强度和电学性能。同时,烧结温度过高或过低都会导致焊料与芯片、基板间的结合不良,从而影响模块的可靠性。因此,优化焊料配方和烧结工艺参数是提高银烧结质量的关键。

半导体IGBT

  在实际应用中,银烧结工艺还面临着一些挑战。例如,银焊料的价格昂贵,增加了制造成本;银焊料在高温下容易氧化,影响烧结质量;此外,银焊料与铜基板间的热膨胀系数差异较大,可能导致热应力问题。针对这些问题,研究者们正在探索新型的焊料合金、抗氧化涂层技术以及热应力缓解措施,以期进一步提高银烧结工艺的实用性和经济性。

  三、银烧结工艺在IGBT行业的应用优势

  1、提高可靠性:银烧结技术形成的冶金结合层具有更高的强度和更好的耐热循环性能,能够有效抵抗IGBT模块在工作过程中产生的热应力和机械应力,从而显著提高模块的可靠性。

  2、降低热阻:银具有优异的导热性能,采用银烧结技术替代传统的焊接技术,可以显著降低IGBT模块内部的热阻,提高模块的散热性能,有利于降低IGBT的工作温度,提高其使用寿命。

  3、减小封装尺寸:银烧结技术可以实现更薄的连接层厚度,从而减小IGBT模块的封装尺寸,提高模块的功率密度和集成度,满足现代电力电子设备对高性能、小型化的需求。

  4、环保:与传统的铅锡焊接技术相比,银烧结技术无需使用有毒有害的铅、镉等元素,符合绿色环保的发展趋势。

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  四、引线键合工艺在IGBT上的应用

  引线键合是一种将芯片上的微小电极与外部电路连接起来的技术。在IGBT模块中,引线键合的质量直接关系到模块的电气性能和可靠性。因此,研究和优化引线键合工艺对于提高IGBT模块的性能具有重要意义。

  引线键合工艺主要包括超声波键合、热压键合和激光键合等几种方式。其中,超声波键合利用超声波振动能量使金属丝与电极表面产生摩擦热,从而实现键合;热压键合则是通过加热和加压的方式使金属丝与电极表面紧密结合;激光键合则是利用激光束的高能量密度实现金属丝与电极的瞬间熔化连接。这些键合方式各有优缺点,需要根据具体应用场景和工艺要求选择合适的键合方式。


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  在引线键合工艺中,金属丝的材料、直径、键合压力、键合时间以及键合温度等参数都会影响到键合质量。例如,金属丝的直径过大会增加寄生电感,影响模块的高频性能;而直径过小则会导致键合强度不足,降低模块的可靠性。因此,优化这些工艺参数是提高引线键合质量的关键。

  为了提高引线键合的可靠性,研究者们还在不断探索新型的键合材料和键合技术。例如,采用高性能的合金丝替代传统的金丝或铝丝,以提高键合的机械强度和电气性能;采用微纳米加工技术制造微型凸点作为键合点,以减小寄生参数和提高键合精度;此外,还有研究者尝试将引线键合与其他封装技术相结合,以实现更高密度的封装和更好的电气性能。

  五、银烧结工艺在IGBT行业的应用挑战与展望

  银烧结工艺作为IGBT模块制造中的关键技术,尽管应用在IGBT行业具有诸多优势,但在实际应用过程中仍面临一些挑战。例如,银烧结技术的工艺参数控制较为严格,需要控制烧结温度、压力和时间等参数以确保连接质量;此外,银的成本较高,可能会增加IGBT模块的生产成本。

  随着新材料、新技术的不断涌现、电力电子市场的持续发展和银烧结技术的不断研究和优化,其工艺稳定性和成本问题有望得到解决。我们有理由相信银烧结工艺将与引线键合工艺相互补充、共同发展,为IGBT行业的进步提供有力支持,同时,我们也期待这两种工艺能够在更广泛的领域得到应用和推广,为电力电子技术的发展做出更大的贡献。

  总结一下

  总之,银烧结工艺以其独特的优势在功率半导体IGBT行业的应用中展现出广阔的前景。通过不断提高银烧结技术的工艺水平和降低成本,有望为IGBT模块的高可靠性、高性能和小型化提供有力保障,推动电力电子技术的持续发展和创新。


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