ASM IC封装设备ASM太平洋：巨量转移不再是一个基本障碍

近日，ASM太平洋接受了Yole Développement 的采访，就公司的 Mini LED和 Micro LED 战略与前景进行了解答。现结合行家说两本白皮书《2021微间距LED显示屏调研白皮书》与《2021 Mini LED背光发展白皮书》的调研内容，详细解读ASM太平洋Mini/Micro LED在巨量焊接方面的的技术与产品。

在2016年，ASM太平洋便开始开发Mini LED和Micro LED 封装解决方案，早期ASM太平洋通过芯片尺寸来区分这两种技术 (即Mini LED: 50µm -200µm；Micro LED:小于50µm)。近期ASM太平洋将Micro LED 的定义为变更为：没有像蓝宝石那样的底材。

在封装中，前段工艺包括固晶与焊线，固晶即通过固晶机把LED新品固定在支架获板材上的指定区域的工艺。随着点间距的缩小、单位面积上像素点数量缩小，需要固晶的LED芯片数量够增加，为了确保产能，固晶机的效率和速度需要相应提升。

ASM太平洋其1990年一代固晶机沿用传统摆臂焊头，但是无法满足芯片微缩的需求，有见及此，ASM太平洋自主研发出新型焊头技术——VORTEX，为需要固放小尺寸LED芯片的大型LED显示屏提供高速、高精度COB解决方案。

VORTEX 平台可处理小至50µm x 100µm的Mini LED芯片，为大型 LED显示屏提供高速度、高精度的 Pick & Place COB解决方案。凭借XYθ校正能力，VORTEX 不需牺牲产能以换取精度，可实现高速、高精度的需求。加上其强大的检测能力，使 VORTEX能提供高良率解决方案，进行焊后检测确保焊接质量。因此特别适用于小至P0.4的超微间距RGB Mini LED直显。

VORTEX 在 Mini LED 微间距直显的特点

并且，LED芯片在放置到印刷好锡膏的基板上后，需要过回焊炉进行焊接，而过炉会使锡膏推高LED芯片，使LED芯片的角度发声倾斜，因此使得LED显示模组点亮后出现麻点现象。

针对这一问题，ASM太平洋推出了AD300Mini和AD300Pro巨量焊接设备，可将芯片的倾斜角度控制在1um以内，其中AD300Mini针对Mini LED芯片，AD300Pro针对Micro LED芯片。

巨量焊接 Mini LED 专为高端的 RGB 直显显示屏设计 

并且，ASM太平洋表示，印章技术仍是市面上最流行、最成熟的巨量转移概念，而激光技术是一种可行的 Micro LED 转移工艺。需要技术突破的是如何处理只有几微米厚的Micro LED 外延层转移。ASM太平洋正在开发一种用于Micro LED 转移的独有激光工艺。当整合出更多测试数据就会向市场发布。

现下最常见的转移印章尺寸为37x37mm，也有公司使用49x49mm的尺寸。焊接良率很大程度上受印章与基板的共面性影响。通常芯片尺寸为5 - 50µm。周期时间是高度依赖于材料和工艺，而ASM太平洋的定位校准时间只需几秒，以100% 的良率一次性完成数十万颗芯片的焊接，及至数亿颗芯片的时产能。

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至今，Micro LED转移取得了显着进展。ASM太平洋认为，在2021年，巨量转移不再是一个基本障碍，因为大多数重要玩家都可以使用AD300Pro 来实现这个目标。要实现大批量生产消费级的Micro LED 产品，其关键应该是在前端和后端工艺，比如Micro LED晶圆良率、分选、焊接、板上返修等等。

其巨量转移焊接平台AD300Mini，主要是针对客户对于RGB显示屏质量的要求，在回流焊无法达到该质量的情况下，其放置精度高达± 2µm ，角度精度达 ± 0.005°。VORTEX将Mini LED芯片从已分选的晶圆上快速转移到临时载体上，然后使用 AD300Mini进行原位巨量焊接。

AD300Mini Mini LED 巨量焊接

除了固晶方面，在Mini LED LCD背光应用领域，ASM太平洋开发了AD420XL 固晶机，运用了高速度、高精度的Pick & Place COB解决方案。ASM太平洋也可提供Mini LED 返修解决方案RW300。RW300是RGB LED 显示屏的一站式返修解决方案：去晶并重新焊上新芯片。

“一两年前，5x9mil芯片尺寸还是主流，而去年已变成了4x8mil。今年大多数客户都测试了3x5mil焊接，这样他们可以更低的芯片成本生产，并且为微间距显示器（小于P0.6）做好准备。 ”ASM太平洋表示，Mini LED 和Micro LED 都使用高密度矩阵焊接工艺，这需要高速度和灵活封装工艺来推动低成本、高效率的生产。ASM太平洋现在正朝着这个方向努力，同时在开发能支持Mini/ Micro LED 大批量生产的创新设备，也致力于前端和返修工艺以整合完整解决方案，加快 Mini/ Micro LED 产品商业化。

值得注意的是，ASM太平洋作为《2021微间距LED显示屏调研白皮书》与《2021 Mini LED背光发展白皮书》的A级参编单位，更多Mini/Micro LED的设备技术收录其中，现早鸟价5.7折预售中。